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          半導體工藝廢氣處理方法有哪些?

          2021-11-24 15:58:23

          半導體工藝廢氣處理方法有哪些?廢氣處理可謂是很多工廠老生常談的話題了,同時對于部分特殊的廢氣,國家也有相關法律要求強制處理。廢氣處理既是保護我們居住的環境,同時也減少了對人類身體健康的危害。小編今天就和大家一起聊聊幾種半導體工藝廢氣處理方法。

          一、半導體酸堿廢氣處理方法

          半導體行業酸堿廢氣處理通常采用液體噴淋法,又稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而達到大氣排放標準,故噴淋法是半導體行業酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。


          二、半導體有機廢氣處理方法

          半導體行業有機廢氣處理方法,通常先用沸石轉輪對VOCs進行吸附濃縮之后,再用直接燃燒法進行銷毀,廢氣凈化率達到97%以上。


          三、直接燃燒

          直接燃燒又稱為直接火焰燃燒,它是把VOCs可燃組分直接燒掉,因此該方法適用于凈化可燃有害組分濃度較高的廢氣,或者凈化有害組分燃燒時熱值較高的廢氣;多種可燃氣體或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中,只要濃度值適宜,也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高于燃燒上限,可以混入空氣后燃燒;如果可燃組分的濃度低于燃燒下限,則可以加入一定數量的輔助燃料如天然氣等,維持燃燒。




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